[发明专利]驱动机构和切削装置无效
申请号: | 200810080947.2 | 申请日: | 2008-02-29 |
公开(公告)号: | CN101256979A | 公开(公告)日: | 2008-09-03 |
发明(设计)人: | 佐藤正视 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;B28D5/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种驱动机构和切削装置,在驱动机构的进给丝杠轴的一端连接有驱动源,并且进给丝杠轴的另一端被可转动地支撑,与螺合在进给丝杠轴上的进给螺母连接的各种滑动体移动,在这种结构的驱动机构中,防止了进给丝杠轴的振动。驱动机构具有这样结构的驱动部:驱动源与进给丝杠轴上连接,并且进给螺母螺合在进给丝杠轴上并通过滑动体与作用单元连接,作用单元通过由驱动部驱动而移动,在这种结构的移动机构中,在进给丝杠轴的自由端部的外周固定有支撑进给丝杠轴的滚珠轴承的内圈,在末端支撑部中,在容纳滚珠轴承的筒部的内周配设有外圈弹性体,外圈弹性体将滚珠轴承的外圈支撑成可在进给丝杠轴的轴心方向上滑动,并且吸收进给丝杠轴的振动。 | ||
搜索关键词: | 驱动 机构 切削 装置 | ||
【主权项】:
1.一种驱动机构,其至少具有:导轨;与上述导轨卡合并且可滑动的滑动体;使上述滑动体沿上述导轨移动的驱动部;以及固定在上述滑动体上的作用单元,其特征在于,上述驱动部具有:驱动源;与上述驱动源连接并且可旋转的进给丝杠轴;将上述进给丝杠轴的自由端部支撑成可旋转的末端支撑部;以及螺合在上述进给丝杠轴上并且与上述作用单元连接的进给螺母,在上述进给丝杠轴的自由端部的外周固定有支撑上述进给丝杠轴的滚珠轴承的内圈,上述末端支撑部由以下部件构成:容纳上述滚珠轴承的筒部;和外圈弹性体,其配设在上述筒部的内周,并将上述滚珠轴承的外圈支撑成可在上述进给丝杠轴的轴心方向上滑动,并且还吸收上述进给丝杠轴的振动。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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