[发明专利]缺陷检测装置和缺陷检测方法无效
| 申请号： | 200810081409.5 | 申请日： | 2008-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN101251496A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 太田佳成 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测装置和缺陷检测方法。一次缺陷检测部执行检测检查对象物上有无规定尺寸以上的大缺陷的一次缺陷检测处理。二次缺陷检测部执行使用检查对象物的图像数据来检测检查对象物上的缺陷的二次缺陷检测处理。处理控制部在二次缺陷检测处理开始前在一次缺陷检测处理中检测出大缺陷的情况下，省略二次缺陷检测处理，或者在二次缺陷检测处理开始后在一次缺陷检测处理中检测出大缺陷的情况下，中途结束二次缺陷检测处理。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，该缺陷检测装置包含：一次缺陷检测单元，其执行对检查对象物上有无规定尺寸以上的大缺陷进行检查的一次缺陷检测处理；二次缺陷检测单元，其执行使用上述检查对象物的图像数据来检测上述检查对象物上的缺陷的二次缺陷检测处理；以及处理控制单元，其控制上述一次缺陷检测处理和上述二次缺陷检测处理的执行；上述处理控制单元在上述二次缺陷检测处理开始前在上述一次缺陷检测处理中检测出上述大缺陷的情况下，省略上述二次缺陷检测处理，或者在上述二次缺陷检测处理开始后在上述一次缺陷检测处理中检测出上述大缺陷的情况下，中途结束上述二次缺陷检测处理。
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