[发明专利]大面积基板处理系统的基座结构体无效
| 申请号： | 200810081522.3 | 申请日： | 2008-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101255547A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 张泽龙;李炳一 | 申请（专利权）人： | 泰拉半导体株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种设置在大面积基板处理系统内的基座结构体。该基座结构体包括：加热器(100)，提供用于加热基板的热源；前置基座(300)，覆盖加热器(100)的上部，装载安装多个基板的晶舟；以及导向基座(200)，包围加热器(100)的侧面。本发明涉及的基座结构体具有如下效果，即通过导向基座防止从加热器产生的热量泄漏到加热器的侧面，防止从加热器产生的微小粉尘扩散到处理室内部。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 处理 系统 基座 结构 | ||
【主权项】：
1.一种基座结构体，设置在大面积基板处理系统内，其特征在于，包括：加热器，提供用于加热基板的热源；前置基座，覆盖所述加热器的上部，装载所述基板；以及，导向基座，包围所述加热器的侧面。
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