[发明专利]衬底清洁设备有效
| 申请号： | 200810082767.8 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101264588A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 尹荣淳;刘永敏 | 申请（专利权）人： | SFA工程股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/304;B24B53/12;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 韩国忠清南道牙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种衬底清洁设备包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁衬底表面的抛光辊；以及至少一个修整单元，其提供在辊抛光单元附近并处理抛光辊的表面。可普遍使用具有多种尺寸的衬底，且可高质量地清洁衬底表面。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 清洁 设备 | ||
【主权项】：
1、一种衬底清洁设备，其特征在于其包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁所述衬底表面的抛光辊；以及至少一个修整单元，其提供在所述辊抛光单元附近并处理所述抛光辊的表面。
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