[发明专利]微振荡元件及微振荡元件阵列有效
| 申请号： | 200810083322.1 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101241228A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 高马悟觉;壶井修;曾根田弘光;上田知史;佐胁一平 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺;冯志云 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡 元件 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种微振荡元件，包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件以及第一梳齿电极，该第一臂部件从该可移动操作部件延伸，该第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿在与该第一臂部件相交的方向上从该第一臂部件延伸；第一扭转接合部件，其将该第一框架与该振荡部件相互连接，并且限定该振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与该第一梳齿电极配合以使得该振荡部件振荡，该第二梳齿电极包括多个第二电极齿，每个第二电极齿在与该第一臂部件相交的方向上延伸；第二框架；以及第二扭转接合部件，其将该第一框架与该第二框架相互连接，并且限定该第一框架相对于该第二框架作振荡操作的第二振荡轴。
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