[发明专利]精密相移发生装置和精密长度测量系统及其测量方法

摘要

本发明提供的精密相移发生装置是基于“压力扫描”原理而设计的“腔长可变式”标准具和柔性铰链微位移平台一体化装置。利用石英材料的低膨胀、高机械品质因素的特点，通过巧妙、精确的结构设计，在精密压力发生器的作用下，分别实现了标准具自身及柔性铰链微位移平台的位移扫描，从而实现物体长度的精密测量；此外“腔长可变式”标准具的设计解决了精密位移传感器的自校准难题，保证了精密相移发生装置相移测量的准确度。本发明还提供了由精密相移发生装置构成的精密长度测量系统及其测量方法。

主权项

1、一种精密相移发生装置，包括框体，铰链微位移平台，两块标准板，其特征在于，还包括精密电容式微位移传感器和精密压力发生器，所述标准板设置在所述框体相对两底壁的内侧壁上，形成腔体；在设置所述标准板的所述框体的两底壁中设置有光路通孔，激光束通过所述光路通孔到达所述标准板，由所述标准板进行反射与透射；在所述框体的另两壁的任一外侧壁上设置有精密压力发生器P，所述精密压力发生器P对所述框体的侧壁外侧施加压力，改变所述腔体的腔长；所述框体与所述铰链微位移平台通过前端中部连成一体结构，在所述铰链微位移平台与所述框体连接点的正下方设置有对所述铰链微位移平台施加推力的精密压力发生器P’；在所述框体后端下部正中位置设置有测量所述腔体的腔长变化和所述铰链微位移平台的位移的所述精密电容式微位移传感器的左极板，右极板设置在所述铰链微位移平台上的支座上。