[发明专利]卡匣的定位机构无效

专利信息
申请号: 200810086296.8 申请日: 2008-03-25
公开(公告)号: CN101546788A 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 申请(专利权)人: 东捷科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/673
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周长兴
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种卡匣的定位机构,分别装设于一真空腔设备以及一卡匣,该定位机构包含有:一挡止件设于该卡匣;一闩锁件枢设于该真空腔设备;一驱动装置具有一主体以及一设于该主体的杆体;该主体设于该真空腔设备,该杆体受该主体驱动而可沿该杆体轴向位移;该杆体末段连结该闩锁件,当该闩锁件受该杆体带动而位移至一闩锁位置,该闩锁件卡合该挡止件而定位该卡匣。
搜索关键词: 定位 机构
【主权项】:
1、一种卡匣的定位机构,分别装设于一真空腔设备以及一卡匣,该定位机构包含有:一挡止件,设于该卡匣;一闩锁件,枢设于该真空腔设备;以及一驱动装置,具有一主体以及一设于该主体的杆体;该主体设于该真空腔设备,该杆体受该主体驱动而可沿该杆体轴向位移;该杆体末段连结该闩锁件,当该闩锁件受该杆体带动而位移至一闩锁位置,该闩锁件卡合该挡止件而定位该卡匣。
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