[发明专利]卡匣的定位机构无效
申请号: | 200810086296.8 | 申请日: | 2008-03-25 |
公开(公告)号: | CN101546788A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 | 申请(专利权)人: | 东捷科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/673 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种卡匣的定位机构,分别装设于一真空腔设备以及一卡匣,该定位机构包含有:一挡止件设于该卡匣;一闩锁件枢设于该真空腔设备;一驱动装置具有一主体以及一设于该主体的杆体;该主体设于该真空腔设备,该杆体受该主体驱动而可沿该杆体轴向位移;该杆体末段连结该闩锁件,当该闩锁件受该杆体带动而位移至一闩锁位置,该闩锁件卡合该挡止件而定位该卡匣。 | ||
搜索关键词: | 定位 机构 | ||
【主权项】:
1、一种卡匣的定位机构,分别装设于一真空腔设备以及一卡匣,该定位机构包含有:一挡止件,设于该卡匣;一闩锁件,枢设于该真空腔设备;以及一驱动装置,具有一主体以及一设于该主体的杆体;该主体设于该真空腔设备,该杆体受该主体驱动而可沿该杆体轴向位移;该杆体末段连结该闩锁件,当该闩锁件受该杆体带动而位移至一闩锁位置,该闩锁件卡合该挡止件而定位该卡匣。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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