[发明专利]非球面透镜的面偏移测量方法及装置

摘要

本发明提供一种将所制造的非球面透镜上产生的面偏移在与面斜倾分离下可高精度地测量的非球面透镜的面偏移测量方法及装置。通过计算机仿真求出被检测透镜(1)的面斜倾和面斜倾分彗差之间的关系、及被检测透镜(1)的面偏移和面偏移分彗差之间的关系。而且，通过突出部(3)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的面斜倾，且通过透镜部(2)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的彗差。通过从该彗差减去面斜倾分彗差，算出起因于面偏移的面偏移分彗差，根据该面偏移分彗差，算出被检测透镜(1)的面偏移。

主权项

1.一种非球面透镜的面偏移测量方法，在2个透镜面中至少一方为非球面的被检测透镜，测量上述2个透镜面各自轴相互间的相对位置偏移的面偏移，该非球面透镜的面偏移测量方法，按以下顺序进行：彗差测量步骤，使用具备衡消光学元件的干涉计进行上述被检测透镜的透过波前测量，根据由该测量所得到的干涉条纹图像来求出上述被检测透镜的彗差；面偏移彗差算出步骤，从上述彗差测量步骤所求出的上述彗差减去起因于上述2个透镜面各自轴相互间的相对倾斜错位的面斜倾而产生的预先所求出的面斜倾分彗差，算出起因于上述面偏移而产生的面偏移分彗差；和面偏移算出步骤，根据该面偏移彗差算出步骤中所算出的上述面偏移分彗差，算出上述面偏移。