[发明专利]化学放大型抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200810086570.1 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101271273A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 藤裕介;高田佳幸 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含树脂，所述树脂包含：(a)具有酸－不稳定基团的结构单元、(b)具有至少一个羟基的结构单元、(c)具有至少一个内酯结构的结构单元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中在所述式(Ia)或(Ib)中，R1表示氢原子或甲基，R3表示甲基，n表示0至14的整数，并且Z表示单键或－[CH2]k－COO－；以及(B)至少一种酸生成剂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂，所述树脂包含(a)具有酸-不稳定基团的结构单元、(b)具有至少一个羟基的结构单元、(c)具有至少一个内酯结构的结构单元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元：其中，R1表示氢原子或甲基，R3表示甲基，n表示0至14的整数，并且Z表示单键或-[CH2]k-COO-，以及(B)至少一种酸生成剂。
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