[发明专利]薄膜晶体管无效
| 申请号： | 200810086617.4 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101540340A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张锡明 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/417 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈 亮 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种薄膜晶体管，其包括一栅极、一栅绝缘层、一沟道层、一源极与一漏极。栅极配置于一基板上，栅绝缘层覆盖于栅极上。沟道层配置于栅极上方的栅绝缘层上，沟道层的纵向剖面可以为波浪状，且源极与漏极配置于沟道层上。此外，沟道层的纵向剖面亦可为平坦表面，而覆盖于沟道层上的两侧的源极与漏极为非直线条状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括：一栅极，配置于一基板上；一栅绝缘层，覆盖于该栅极上；一沟道层，配置于该栅极上方的该栅绝缘层上，该沟道层的纵向剖面为波浪状；以及一源极与一漏极，配置于该沟道层上。
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