[发明专利]电极引入机构

摘要

一种电极引入机构，是装设于一真空腔设备，该电极引入机构包含有：二导杆，设于该真空腔设备且相互平行；一支架，具有对应该二导杆数量的贯孔，所述贯孔分别供该二导杆穿设；一电极装置，设于该支架且具有一电极部；一驱动装置，是具有一本体以及一设于该本体的驱动杆；该本体设于该真空腔设备；该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架；该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移，该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。

主权项

1、一种电极引入机构，装设于一真空腔设备，其特征在于，该电极引入机构包含有：二导杆，设于该真空腔设备且相互平行；一支架，具有对应该二导杆数量的贯孔，所述贯孔分别供该二导杆穿设；一电极装置，设于该支架且具有一电极部；以及一驱动装置，具有一本体以及一设于该本体的驱动杆；该本体设于该真空腔设备；该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架；该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移，该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。