[发明专利]阀门组无效
| 申请号： | 200810087339.4 | 申请日： | 2008-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101539221A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K3/02;F16K31/12;F16K27/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明一种阀门组，是关于设置于二真空腔室之间的阀门组，包含有：一壳体，内部具有一容置空间，壳体设有一贯通部，贯穿壳体的两相对侧面。壳体的二侧面分别与一真空腔室连接，并且使各真空腔室与贯通部相对。一阀门板，设于容置空间内，可于容置空间内移动并且可以横断封闭贯通部，阀门板一侧与壳体之间设有一止漏件，使阀门板在关闭后可以保持气密阻隔。一掣动件，设于壳体的一侧，掣动件与阀门板连接可推动阀门板沿一轴向往覆移动。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 | ||
【主权项】：
1.一种阀门组，设置于二真空腔室之间，其特征在于，包含有：一壳体，内部具有一容置空间，该壳体设有一贯通部，贯穿该壳体的两相对侧面，该壳体的二侧面分别与一真空腔室连接，并且使各真空腔室与该贯通部相对；一阀门板，设于该壳体的容置空间内，可于该容置空间内移动并且以横断封闭该壳体的贯通部，使该壳体的两侧不连通，该阀门板一侧与该壳体之间设有一止漏件，使该阀门板在关闭后可以保持气密阻隔；一掣动件，设于该壳体的一侧，该掣动件与该阀门板连接可推动该阀门板沿一轴向往覆移动。
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