[发明专利]检查方法和记录有检查方法的程序记录介质有效
| 申请号： | 200810087851.9 | 申请日： | 2008-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101344570A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 保坂和树;猪股勇 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查方法和用于执行检查方法的程序记录介质，无论是高温检查还是低温检查均能够在载置台上装载晶片之后，在短时间内稳定载置台的温度，而且能够提高检查的处理量。本发明的检查方法是，使用探针装置(10)进行晶片(W)的检查的工序包括：根据预先登记的晶片(W)的物性数据(比热、比重)和容积数据，计算将晶片(W)从向主夹盘(13)的载置前的温度(常温)加热至目标温度(90℃)所必需的热量作为加法控制量的工序；和在将晶片(W)载置于主夹盘(13)之前，通过温调器(13A)在设定为目标温度的主夹盘(13)上施加加法控制量，加法控制主夹盘(13)的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 记录 程序 介质 | ||
【主权项】：
1.一种检查方法，在检查装置的能够移动的载置台上载置被检查体，通过内置于载置台的温度调节器将所述被检查体设定为目标温度，并进行所述被检查体的电特性检查，其特征在于，包括：根据预先登记的所述被检查体的物性数据和容积数据，计算将所述被检查体从向所述载置台的载置前的温度加热或冷却至所述目标温度所必需的热量作为加法控制量的工序；和在将所述被检查体载置于所述载置台之前，通过所述温度调节器对设定为所述目标温度的所述载置台施加所述热量，加法控制所述载置台的工序。
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