[发明专利]半导体层有效

专利信息
申请号: 200810089385.8 申请日: 2004-08-04
公开(公告)号: CN101257079A 公开(公告)日: 2008-09-03
发明(设计)人: 一之濑升;岛村清史;青木和夫;恩卡纳西翁·安东尼亚·加西亚·比略拉 申请(专利权)人: 株式会社光波
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 蒋亭;苗堃
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供发光元件及半导体基板的制作方法。该发光元件包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。该半导体基板的制作方法包含:在β-Ga2O3基板上形成GaN系半导体层的步骤;在所述GaN系半导体层上形成GaN系外延层的步骤;以及从所述GaN系外延层削除所述β-Ga2O3基板和所述GaN系半导体层,制作所述GaN系外延层的基板的步骤。
搜索关键词: 半导体
【主权项】:
1.发光元件,其特征在于包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。
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