[发明专利]半导体层有效
申请号: | 200810089385.8 | 申请日: | 2004-08-04 |
公开(公告)号: | CN101257079A | 公开(公告)日: | 2008-09-03 |
发明(设计)人: | 一之濑升;岛村清史;青木和夫;恩卡纳西翁·安东尼亚·加西亚·比略拉 | 申请(专利权)人: | 株式会社光波 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蒋亭;苗堃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供发光元件及半导体基板的制作方法。该发光元件包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。该半导体基板的制作方法包含:在β-Ga2O3基板上形成GaN系半导体层的步骤;在所述GaN系半导体层上形成GaN系外延层的步骤;以及从所述GaN系外延层削除所述β-Ga2O3基板和所述GaN系半导体层,制作所述GaN系外延层的基板的步骤。 | ||
搜索关键词: | 半导体 | ||
【主权项】:
1.发光元件,其特征在于包含:β-Ga2O3基板、在所述β-Ga2O3基板上形成的GaN系半导体层、以及在所述GaN系半导体上形成的双异型发光层。
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