[发明专利]刚性增强了的微机械器件无效
| 申请号： | 200810090383.0 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101279708A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·克洛泽;克里斯蒂安·德拉伯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种微机械器件，包括：可偏转微机械功能结构，和将所述微机械功能结构定位在所述微机械器件中的非刚性偏压悬挂件。 | ||
| 搜索关键词： | 刚性 增强 微机 器件 | ||
【主权项】：
1.一种微机械器件，包括：可偏转微机械功能结构(1)；以及将所述微机械功能结构定位在所述微机械器件中的非刚性偏压悬挂件(2)。
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