[发明专利]抗蚀乙硅烷和饱和烃桥接的含硅聚合物及制备和使用方法有效

专利信息
申请号: 200810090419.5 申请日: 2008-03-31
公开(公告)号: CN101302346A 公开(公告)日: 2008-11-12
发明(设计)人: 沙赫罗赫·莫塔莱比;林相学 申请(专利权)人: 第一毛织株式会社
主分类号: C08L83/14 分类号: C08L83/14;C08L83/05;C09D183/14;C09D183/05;C08G77/50;C08G77/12
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 蔡胜有;王春伟
地址: 韩国庆尚*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及抗蚀乙硅烷和饱和烃桥接的含硅聚合物及制备和使用方法。本发明还涉及一种组合物,其包含共聚物,该共聚物含有具有结构(A)、(B)和(C)以及结构(D)或(E)之一或更多的单体单元的混合物:其中,a、b、c、d、e和f独立地为0至2,n是0至约10,R1是生色团,R2是亲水基团。
搜索关键词: 抗蚀乙 硅烷 饱和 烃桥接 聚合物 制备 使用方法
【主权项】:
1.一种组合物,包含:含有具有结构(A)、(B)、和(C)以及结构(D)或(E)之一或更多的单体单元的混合物的共聚物:HSiO(3-a)/2(OH)a SiO(3-b)/2(OH)b-(CH2)n-SiO(3-c)/2(OH)c R1SiO(3-d)/2(OH)d (A) (B) (C)MeSiO(3-e)/2(OH)e R2SiO(3-f)/2(OH)f (D) (E)其中:a、b、c、d、e和f独立地是0至2,n是0至约10,R1是生色团,和R2是亲水基团。
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