[发明专利]整合无线射频识别的晶片测试系统及其测试方法

摘要

一种整合无线射频识别(RFID)的晶片测试系统及其测试方法，该系统包括：一晶片待测区，存放晶片载具；一探针机台，包括一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，运动平台提供X-Y-Z三轴的移动以承载受测的晶片，探针卡夹固于探针卡夹持机构；一测试机台，输入测试信号至探针机台以进行晶片测试，测试后呼叫一接口程序以将测试结果转换为特定数据格式的文件；载具设置RFID标签；探针机台设置有RFID读取机；一RFID中介平台，通过读取标签信息呼叫相关应用程序以产生对应的晶片信息；一数据分析系统，接收特定数据格式的文件并运算处理产生晶片测试后的良率信息；以及一工艺信息系统，用以整合RFID中介平台的晶片信息及良率信息，以实时监控以晶片为主的工艺与良率。

主权项

1.一种整合无线射频识别的晶片测试系统，至少包括有：一晶片待测区，用以存放具有多个晶片的载具；一探针机台，至少具有一运动平台、一探针卡夹持机构与一探针卡，该运动平台系提供X-Y-Z三轴的移动以承载一受测的晶片，该探针卡夹持固定于该探针卡夹持机构；以及一测试机台，输入测试信号至该探针机台以进行该晶片的测试，测试完后呼叫一接口程序以将该晶片的测试结果转换为一特定数据格式的文件；其特征在于：该载具设置有至少一个无线射频识别标签；该探针机台设置有一个无线射频识别读取机，以读取该无线射频识别标签所储存的标签信息；一无线射频识别中介平台，通过该读取的标签信息，呼叫相关应用程序以取得其对应的晶片信息；一数据分析系统，接收来自该接口程序所转换的该特定数据格式的文件，加以运算处理以产生该晶片的良率信息；以及一工艺信息系统，用以整合该无线射频识别中介平台的晶片信息及该数据分析系统的良率信息，以供晶片为主的实时监控。