[发明专利]加热器线材寿命预测法和处理系统、热处理装置、记录介质有效
| 申请号： | 200810091489.2 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101291551A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 寺泽伸俊;小幡穣;小山典昭 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;F27B5/14;F27B5/18;F27D19/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热器线材的寿命预测方法，在应用于热处理装置的加热器线材断线之前对其寿命事先进行预测时，通过利用加热器线材的断线的征兆容易显现的期间(例如升温期间)的数据，能够比现有技术更准确地预测加热器线材的寿命。在对晶片进行热处理之前，在向加热器线材供给电力直至使其升温至热处理温度的升温期间，对供向加热器线材的电力的大小的最大值进行检测，并且求取表示电力的振幅的大小的指标，当这些电力的大小和表示电力的振幅的大小的指标超过各自的阈值时通知加热器线材的寿命将结束。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 线材 寿命 预测 处理 系统 热处理 装置 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种加热器线材的寿命预测方法，其为对热处理装置的加热器线材的寿命进行预测的方法，该热处理装置通过向加热器线材供给电力进行温度控制，而使配置在处理室内的被处理基板升温到预先设定的热处理温度，然后对其进行热处理，该加热器线材的寿命预测方法的特征在于，包括：对上升到所述热处理温度的升温期间内的供向所述加热器线材的电力的大小的最大值进行检测的工序；和当判断所述电力的大小的最大值超过预先设定的阈值时，进行通知所述加热器线材的寿命将结束的警报处理的工序。
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