[发明专利]氟掺杂的氧化锡膜、提升其光电特性的方法和装置

摘要

本发明提供一种氟掺杂的氧化锡膜以及提升其光电特性的方法和装置。所述氟掺杂的氧化锡膜沉积在基板上。所述提升氟掺杂的氧化锡膜的光电特性的方法包括步骤：在包括氧气和含氟气体的热压处理室内对所述氟掺杂的氧化锡膜进行热压处理。该方法简单且有效，与热压处理前相比，SnO₂:F的光透射率提高了，而其电导率无明显下降。这种改善后的形成在基板上的SnO₂:F可以用来生产具有更高的光电流密度和光电转换效率的薄膜型太阳能光伏器件和大型模板。

主权项

1.一种提升氟掺杂的氧化锡膜的光电特性的方法，所述氟掺杂的氧化锡膜沉积在基板上，所述方法包括步骤：在包括氧气和含氟气体的热压处理室内对所述氟掺杂的氧化锡膜进行热压处理。