[发明专利]流量传感器单元有效
申请号: | 200810092872.X | 申请日: | 2008-05-07 |
公开(公告)号: | CN101393044A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | 池信一;上运天昭司;熊佐淳司 | 申请(专利权)人: | 株式会社山武 |
主分类号: | G01F1/68 | 分类号: | G01F1/68 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种流量传感器单元,其包括:流量传感器(12),具有传感器芯片(22)和流道形成部件(23),该芯片中在基板上表面上覆盖形成于其上的凹部的至少一部分地被覆有绝缘膜,在绝缘膜上形成有流量检测部(27),流道形成部件设在传感器芯片上并形成有流经流量检测部的流体的流道(24);金属制流道体(14),收容流量传感器,并形成有以将该流道体内周面与流量传感器外周部分离的状态进行收容的收容部(14c);金属制安装板(13),以固定保持有流量传感器的状态固定在流道体上,以将该流量传感器收容在流道体收容部中;和绝缘部件(29),插装在流量传感器的传感器芯片与安装板之间,与传感器芯片接合并与安装板接合。 | ||
搜索关键词: | 流量传感器 单元 | ||
【主权项】:
1. 一种流量传感器单元,其具有:流量传感器,其具有:传感器芯片,在该传感器芯片中,在基板的上表面上以覆盖形成于其上的凹部的至少一部分的方式被覆有绝缘膜,在该绝缘膜上形成有流量检测部;和流道形成部件,其设置在所述传感器芯片上,并形成有流经所述流量检测部的流体的流道;以及金属制成的流道体,其收容所述流量传感器,并形成有收容部,该收容部以将该流道体的内周面与所述流量传感器的外周部分离的状态进行收容;其特征在于,所述流量传感器单元具有:金属制成的安装板,其以固定保持有所述流量传感器的状态固定在所述流道体上,从而将所述流量传感器收容在所述流道体的收容部中;以及绝缘部件,其插装在所述流量传感器的传感器芯片与所述安装板之间,与所述传感器芯片接合,并且与所述安装板接合。
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