[发明专利]脉动减轻装置和检查装置有效
| 申请号： | 200810096074.4 | 申请日： | 2006-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101280886A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 八田政隆 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | F17D1/20 | 分类号： | F17D1/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种脉动减轻装置和一种使用这种脉动减轻装置的检查装置。该脉动减轻装置是在具备使液体在基台内循环的泵和贮存通过该泵循环的液体的罐体的装置中使用，其将在所述罐体内的液面上的空隙部的气体作为缓冲体，减轻所述泵引起的所述液体的脉动，其特征在于，分别设置有检测所述罐体内的液体的液面上限的第一液面传感器和检测所述罐体内的液体的液面下限的第二液面传感器，通过根据所述第一、第二液面传感器的检测信号将所述空隙部的气体压力维持为一定水平，将所述罐体内的液面高度控制在规定的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 脉动 减轻 装置 检查 | ||
【主权项】：
1.一种脉动减轻装置，在具备使液体在基台内循环的泵和贮存通过该泵循环的液体的罐体的装置中使用，其将在所述罐体内的液面上的空隙部的气体作为缓冲体，减轻所述泵引起的所述液体的脉动，其特征在于，分别设置有检测所述罐体内的液体的液面上限的第一液面传感器和检测所述罐体内的液体的液面下限的第二液面传感器，通过根据所述第一、第二液面传感器的检测信号将所述空隙部的气体压力维持为一定水平，将所述罐体内的液面高度控制在规定的范围内。
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