[发明专利]磁头滑块的研磨装置有效
申请号: | 200810096774.3 | 申请日: | 2008-05-07 |
公开(公告)号: | CN101574789A | 公开(公告)日: | 2009-11-11 |
发明(设计)人: | 阿部清彦;小林正;土屋浩康;谭·桑托斯;魏忠献;张春华;李发洪;陈明远 | 申请(专利权)人: | 新科实业有限公司 |
主分类号: | B24B19/26 | 分类号: | B24B19/26 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本发明提供一种抑制元件研磨量偏差的磁头滑块研磨装置。该磁头滑块研磨装置包括:用于研磨要成为磁头滑块元件的可旋转的研磨平盘、具有内部空间32并沿与研磨平盘正交的研磨平盘正交轴C延伸的压力调整部件31、连接在压力调整部件31上且用于压紧元件的推动器6、以及连接在压力调整部件31上并向内部空间32提供气体的气体供给装置51。压力调整部件31包括:包含与推动器6连接的连接部的第一部分34、包含与内部空间32和气体供给装置51相连的相连部的第二部分36、以及设置在第一部分34和第二部分36之间并根据内部空间32的压力而使研磨平盘正交轴方向C长度变化的轴向变形部37,通过轴向变形部37的变形而使压力调整部件31对推动器6的压力产生变化。 | ||
搜索关键词: | 磁头 研磨 装置 | ||
【主权项】:
1.一种磁头滑块的研磨装置,其特征在于包括:用于研磨要成为磁头滑块元件的可旋转的研磨平盘;具有内部空间并沿与所述研磨平盘正交的研磨平盘正交轴延伸的压力调整部件;连接在所述压力调整部件上,用于压紧所述元件的推动器;以及连接在所述压力调整部件上,向所述内部空间提供气体的气体供给装置;所述压力调整部件包括:包含与所述推动器连接的连接部的第一部分、包含与所述内部空间和所述气体供给装置相连的相连部的第二部分、以及设置在所述第一部分和所述第二部分之间并根据所述内部空间的压力而使所述研磨平盘正交轴方向长度产生变化的轴向变形部,通过所述轴向变形部的变形使得所述压力调整部件对所述推动器的压力产生变化。
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