[发明专利]探测装置和探测方法有效
| 申请号： | 200810098856.1 | 申请日： | 2008-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101393251A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 河野功;花轮一纪 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探测装置和探测方法，在使用探测卡对晶片上的IC芯片的电特性进行调查的探测装置中，能够防止基于探测卡带电的IC芯片的静电破坏。将利用离子发生器被离子化的空气从探测卡的上方侧或下方侧供给到探测卡。例如在测试头的外部配置离子发生器的同时从此处通过测试头中央部的开口部至探测卡的上方附近引绕气体供给管，在其前端部设置喷嘴部。或者是搭载用于对晶片上的IC芯片的电极垫进行摄像的照相机，在探测卡与晶片载置台之间在能够水平移动的移动部件上设置喷嘴部，从此处向探测卡喷出被离子化的空气。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种探测装置，其将排列有多个被检查芯片的基板载置在能够移动的载置台上，使所述被检查芯片的电极垫与探测卡的探针接触，进行被检查芯片的检查，其特征在于，包括：用于使气体离子化的离子发生器；和向探测卡供给被该离子发生器离子化的气体以用于除电的喷嘴部。
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