[发明专利]有机EL元件衬底预处理方法及有机EL元件制造方法

摘要

本发明涉及一种有机EL(电致发光)元件衬底预处理方法及有机EL元件制造方法。这种用于处理衬底的方法，在该衬底上形成由金属氧化物构成的透明电极，之后在该透明电极上形成有机电致发光EL元件。根据该方法，所述衬底容纳于设置有加热器的烘干室中。加热所述衬底，同时氧气和氮气的混合气体被引入所述烘干室中以便置换所述烘干室中的气体。所述混合气体以每分钟大于等于所述烘干室总容积的1/60且小于等于所述处理室总容积的1/15的量被引入所述烘干室中。根据该方法，湿气被去除，同时对由金属氧化物构成的所述透明电极进行适当的表面处理。

主权项

1.一种衬底的预处理方法，其中在所述衬底上形成由金属氧化物构成的透明电极，并且在预处理之后在所述透明电极上层叠形成有机电致发光元件的多个层，所述预处理方法的特征在于：将具有所述透明电极的衬底容纳于设置有加热器的处理室中；加热所述衬底，同时将氧气和惰性气体的混合气体引入所述处理室中，以便置换所述处理室中的气体；以及设置所述混合气体进入所述处理室的引入速度，使得所述混合气体以每分钟大于等于所述处理室总容积的1/60且小于等于所述处理室总容积的1/15的量引入到所述处理室中。