[发明专利]工件处理装置

摘要

本发明涉及一种工件处理装置(S)，包括：等离子体发生装置(6)，具有将提供的规定气体等离子体化的等离子体发生部(18)，并从所述等离子体发生部(18)放出等离子体化的气体；输送装置(2)，在所述等离子体发生部(18)的下方支撑作为处理对象的工件(W)；通过对所述工件(W)照射等离子体化的气体，执行规定的处理；所述工件处理装置(S)还包括安装框(4)，用于安装所述等离子体发生装置(6)，以使所述等离子体发生部(18)位于工件(W)上方。而且，所述等离子体发生装置(6)相对于所述安装框(4)安装成可以从使所述等离子体发生部(18)配置在工件(W)上方的安装位置沿水平方向拉出。

主权项

1.一种工件处理装置，其特征在于包括：等离子体发生装置，具有将提供的规定气体等离子体化的等离子体发生部，并从所述等离子体发生部放出等离子体化的气体；支撑部，在所述等离子体发生部的下方支撑作为处理对象的工件；所述等离子体发生装置通过对所述工件照射所述等离子体化的气体，执行规定的处理，所述工件处理装置还包括安装框，用于安装所述等离子体发生装置，以使所述等离子体发生部位于所述工件上方，其中，所述等离子体发生装置以可以从使所述等离子体发生部配置在所述工件上方的安装位置沿水平方向拉出的方式安装在所述安装框。