[发明专利]微型实心或空心硅针、硅针阵列及其制造方法

摘要

本发明公开了属于医疗、美容器械及微细加工技术领域的一种微型实心或空心硅针、硅针阵列及其制造方法。微型硅针针头的下端为柱状体，针头的上端针尖部分至少存在弧形或有一个或多个尖角形成针的顶点，顶点上开有与底面倒三角形沟槽相连的通孔，采用微电子工艺制备在(110)面晶向单晶硅片的正、反两面上，采用各向异性自停止湿法腐蚀的方法，同时批量加工出由6个硅(111)面形成的两种倒三角形沟槽，然后采用DRIE方法在正面倒三角形沟槽中同时形成硅针及其与反面倒三角形沟槽相连的通孔。本发明能够低成本、高产率、批量化的制造出结构坚固的实心、空心硅针阵列，在透皮给药、微量体液提取等生物医学领域具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种微型实心或空心硅针、硅针阵列，其特征在于：所述实心或空心微型硅针阵列的结构如下：1)微型硅针针头的形状与传统皮下注射针头类似，针头的下端为柱状体(6)，针头的上端形成针尖的部分至少存在一个平滑的斜面(3)，且该斜面(3)与单晶硅的一族(111)面(5)平行；斜面(3)在针尖处为弧形或有一个或多个尖角形成针的顶点(1)；2)在针头顶部的平滑斜面(3)上开有类似多边形、椭圆形或圆形的孔(2)，并且这些孔(2)与硅针底部由六个(111)面形成的倒三角沟槽(4)相连形成通孔，即形成微型空心硅针；3)每个微型硅针与一个硅坑(7)相邻。