[发明专利]双面等离子表面冶金金属板材的立式生产方法及装置有效
申请号: | 200810103043.7 | 申请日: | 2008-03-31 |
公开(公告)号: | CN101550540A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 徐重;宋毓珮;王燚;张平则;姚正军;缪强 | 申请(专利权)人: | 北京世纪辉光科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C14/38 | 分类号: | C23C14/38 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄 健 |
地址: | 100085北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种双面等离子表面冶金金属板材的立式生产方法,包括以下步骤:将待处理金属板材预热,对金属板材的两面同时进行等离子表面冶金处理,冷却,得到双面等离子表面冶金金属板材;其中,等离子表面冶金处理过程中,金属板材以直立方式位于相对设置的源极之间。本发明还提供了一种立式生产装置,包括预热室、等离子表面冶金室和冷却室等真空室,在该生产装置中采用传动机构使金属板材以立式状态在相对设置的源极之间做往复运动。采用本发明的立式生产方法和装置,可以实现对金属板材的两面的同时等离子表面冶金处理,并且可以避免出现高温和自由固体颗粒沉积等带来的板形和表面质量问题。 | ||
搜索关键词: | 双面 等离子 表面 冶金 金属 板材 立式 生产 方法 装置 | ||
【主权项】:
1、双面等离子表面冶金金属板材的立式生产方法,其包括以下步骤:将待处理金属板材预热;对金属板材的两面同时进行等离子表面冶金处理;冷却,得到双面等离子表面冶金金属板材;其中,等离子表面冶金处理过程中,金属板材以直立方式位于相对设置的源极之间。
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