[发明专利]一种修补钯及钯合金复合膜缺陷的方法

摘要

一种修补钯及钯合金复合膜缺陷的方法，通过将一种或多种有机物添加在钯化学镀液中，使得有机物只吸附在钯及钯合金复合膜表面，而不能进入缺陷内部。所述有机物为能够通过后处理过程去除的物质，或能够通过加热完全分解的物质。由于所述有机物吸附在钯及钯合金复合膜表面而使表面被覆盖，从而使金属的自催化沉积反应不会在钯及钯合金复合膜表面发生；另外由于所述有机物不能够进入缺陷内部，因而无法阻止金属的自催化沉积而使得缺陷被金属沉积修补。通过本发明修补后的钯及钯合金复合膜，在其致密性加强的同时，金属膜层的厚度不会增加，因此既不会因为大量贵金属钯的使用而增加应用成本，同时也不会减少氢气的渗透量。

主权项

1、一种修补钯或钯合金复合膜缺陷的方法，其特征在于：将一种或多种有机物添加在钯化学镀液中，采用化学镀方法对钯或钯合金复合膜进行修补；所用的有机物是在550℃以下，于氮气、氢气或氧气气氛下能完全挥发或分解的物质。