[发明专利]一种含Ce－Y的A1－Ti－N多元复合涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 200810107182.7 | 申请日： | 2008-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101353776A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 陈颢;羊建高;刘海浪;王宝建 | 申请（专利权）人： | 崇义章源钨业股份有限公司;江西理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 赣州凌云专利事务所 | 代理人： | 曾上 |
| 地址： | 341000江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明属于超硬材料技术领域，为了降低涂层中“大颗粒”的数量和尺寸，提高涂层的抗剥落性和抗氧化温度，同时成膜速率增加，提供一种含Ce－Y的Al－Ti－N多元复合涂层及其制备方法。本发明采取在Ti－N、Al－Ti－N涂层中至少有一层沉积有Ce－Y，同时在制备方法上采取含Ce－Y重量百分比为0.5－3％的Ti靶和原子比为1∶2或1∶3的Ti－Al靶蒸发并电离，并向真空室内输送N2气，进行含Ce－Y的TiN涂层和Al－Ti－N涂层沉积技术方案，大大提高工件的硬度、耐磨和高温抗氧化性，使用寿命显著提高，使之能适应高精度、高速切削、干式切削等加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ce a1 ti 多元 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种含Ce-Y的Al-Ti-N多元复合涂层，包括Ti-N、Al-Ti-N涂层，其特征是：在Ti-N、Al-Ti-N涂层中至少有一层沉积有Ce-Y。
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