[发明专利]芯片载板的制造方法有效
申请号: | 200810108777.4 | 申请日: | 2008-05-29 |
公开(公告)号: | CN101593705A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | 陈昌甫 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种芯片载板的制造方法,首先提供包层板,由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层构成,接着将该第一金属层定义成第一导线图案,然后于该第一导线图案上压合绝缘层;再将该第二金属层定义成多个凸块焊垫,随后去除未被该凸块焊垫覆盖住的该蚀刻停止层,再形成阻焊层,填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面,最后蚀刻该凸块焊垫的上表面,自动对准形成多个接合凹孔。 | ||
搜索关键词: | 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种芯片载板的制造方法,包含有:提供包层板,其由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层层叠构成,该蚀刻停止层夹设于该第一金属层与该第二金属层之间;将该第一金属层定义成第一导线图案,包括多个金属垫;于该第一导线图案上压合绝缘层;将该第二金属层定义成多个凸块焊垫;去除未被该多个凸块焊垫所覆盖住的该蚀刻停止层,暴露出部分的该绝缘层以及该第一导线图案;于暴露出的该绝缘层及该第一导线图案上形成阻焊层,其中该阻焊层填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面;以及将暴露出的各该凸块焊垫的上表面蚀刻掉一部分的厚度,由此自动对准形成多个接合凹孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造