[发明专利]芯片载板的制造方法有效

专利信息
申请号: 200810108777.4 申请日: 2008-05-29
公开(公告)号: CN101593705A 公开(公告)日: 2009-12-02
发明(设计)人: 陈昌甫 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 彭久云
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种芯片载板的制造方法,首先提供包层板,由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层构成,接着将该第一金属层定义成第一导线图案,然后于该第一导线图案上压合绝缘层;再将该第二金属层定义成多个凸块焊垫,随后去除未被该凸块焊垫覆盖住的该蚀刻停止层,再形成阻焊层,填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面,最后蚀刻该凸块焊垫的上表面,自动对准形成多个接合凹孔。
搜索关键词: 芯片 制造 方法
【主权项】:
1.一种芯片载板的制造方法,包含有:提供包层板,其由第一金属层、第二金属层及蚀刻停止层层叠构成,该蚀刻停止层夹设于该第一金属层与该第二金属层之间;将该第一金属层定义成第一导线图案,包括多个金属垫;于该第一导线图案上压合绝缘层;将该第二金属层定义成多个凸块焊垫;去除未被该多个凸块焊垫所覆盖住的该蚀刻停止层,暴露出部分的该绝缘层以及该第一导线图案;于暴露出的该绝缘层及该第一导线图案上形成阻焊层,其中该阻焊层填满该多个凸块焊垫之间的空隙,并暴露出各该凸块焊垫的上表面;以及将暴露出的各该凸块焊垫的上表面蚀刻掉一部分的厚度,由此自动对准形成多个接合凹孔。
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