[发明专利]热处理炉及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200810109373.7 申请日: 2008-06-02
公开(公告)号: CN101315878A 公开(公告)日: 2008-12-03
发明(设计)人: 小林诚;中尾贤 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H05B3/66;H05B3/64;F27B17/00;F27D5/00;F27D11/02
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 刘春成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供热处理炉及其制造方法,减少电阻发热体热膨胀收缩时支撑体与电阻发热体间的摩擦阻力,抑制电阻发热体因残留应力发生的永久变形,提高耐久性。热处理炉包括:收容被处理体并进行热处理的处理容器;包围处理容器的筒状隔热件;沿着该隔热件内周面配置的螺旋状电阻发热体;在该隔热件内周面沿轴方向平行设置,在轴方向以规定间距支撑电阻发热体的支撑体;在电阻发热体的外侧在轴方向以适当间隔配置,沿着直径方向贯通隔热件并向外部延伸的多个端子板。支撑体具有位于电阻发热体内侧的基部、从该基部通过电阻发热体间向半径方向外侧延伸的多个支撑片,形成梳状。支撑片上面部形成曲面状,以减少电阻发热体热膨胀收缩移动时的摩擦阻力。
搜索关键词: 热处理 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种热处理炉,其特征在于,包括:收容被处理体并进行热处理的处理容器;包围处理容器的筒状的隔热件;沿着该隔热件的内周面配置的螺旋状的电阻发热体;在所述隔热件的内周面沿轴方向平行设置的,在轴方向以规定间距支撑电阻发热体的支撑体;和在所述电阻发热体的外侧在轴方向以适当间隔配置的,沿着直径方向贯通隔热件并向外部延伸的多个端子板,其中,所述支撑体,具有位于电阻发热体内侧的基部;和从该基部通过电阻发热体之间向半径方向外侧延伸并且支撑电阻发热体的多个支撑片,并形成为梳状,各支撑片的上面部被形成为曲面状,使得电阻发热体的热膨胀收缩移动时的摩擦阻力减少。
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