[发明专利]处理装置和搬送方法无效

专利信息
申请号: 200810110231.2 申请日: 2008-06-18
公开(公告)号: CN101329994A 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 川内拓男 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/677
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 刘春成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种处理装置,对被连续搬送的柔韧性薄膜(1)依次实施多个处理,其包括:连续搬送柔韧性薄膜(1)的搬送机构(13);对柔韧性薄膜(1)实施第一处理的第一处理单元(11);对柔韧性薄膜(1)实施第二处理的第二处理单元(12);和根据在第一处理单元(11)与第二处理单元(12)之间产生的柔韧性薄膜(1)的搬送速度差来缓冲柔韧性薄膜(1)的缓冲机构(14)。
搜索关键词: 处理 装置 方法
【主权项】:
1.一种处理装置,其是对被连续搬送的柔韧性薄膜依次实施多个处理的处理装置,其特征在于,包括:连续搬送所述柔韧性薄膜的搬送机构;对所述柔韧性薄膜实施第一处理的第一处理单元;对所述柔韧性薄膜实施第二处理的第二处理单元;和根据在所述第一处理单元与所述第二处理单元之间产生的所述柔韧性薄膜的搬送速度差进行所述柔韧性薄膜的缓冲的缓冲机构。
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