[发明专利]宽幅连续磁控溅射镀膜辊正反螺旋流冷却结构

摘要

宽幅柔性磁控溅射镀膜辊的正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬、冷却液导流管，镀膜辊两端端面、旋转轴和螺旋槽，外不锈钢薄层为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层下，冷却液导流管镶嵌在不锈钢内衬的双螺旋槽内，通过镀膜辊两端端面将外不锈钢薄层和不锈钢内衬支撑在镀膜辊旋转轴上，循环冷液导流管进出口在镀膜辊同一侧端面，进出冷液两管在不锈钢内衬中并排紧靠组成双管按照表面双螺旋方式绕制到镀膜辊同一侧；工作时，镀膜辊冷却液在导流管内循环流动将余热带走，它的冷却效果和温度均匀性更好，循环冷液进出口压差也容易实现。

主权项

1.宽幅连续磁控溅射镀膜辊正反螺旋流冷却结构，包括外不锈钢薄层(1)、冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬(2)、冷却液导流管(5)、螺旋槽(6)、镀膜辊两端端面(3)和旋转轴(4)；其中，外不锈钢薄层(1)为圆柱筒体，冷液进出正反双螺旋流槽不锈钢内衬(2)为圆柱筒体，它紧贴在外不锈钢薄层(1)下，冷却液导流管(5)镶嵌在冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬(2)的螺旋槽(6)内，通过镀膜辊两端端面(3)将外不锈钢薄层(1)和冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬(2)支撑在镀膜辊旋转轴(4)上，冷液导流管(5)进出口在镀膜辊同一侧端面，进出冷液两管在冷液进出正反双螺旋槽不锈钢内衬(2)中并排紧靠组成双管按照表面双螺旋方式绕制到镀膜辊同一侧。