[发明专利]一种固晶机的替换模块无效
| 申请号： | 200810110796.0 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101593706A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 陈建华;罗仕麟;谢富峻 | 申请（专利权）人： | 先进开发光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/58 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明披露一种固晶机的替换模块，其包含一固定板、一第一摩擦轮、一转动轮以及一第二摩擦轮。其中，上述的固定板上具有两个穿孔，分别为一第一穿孔以及一第二穿孔。第一摩擦轮于第一穿孔内转动，转动轮的中心轴穿过第二穿孔，且转动轮的侧面与第一摩擦轮的侧面相互接触，因此当第一摩擦轮转动时会带动转动轮。转动轮的另一侧面又与第二摩擦轮相互接触，因此当第一摩擦轮带动转动轮时，转动轮又会带动第二摩擦轮转动。因此可达到清洗、维修布胶盘或更换胶体时更为快速简便，进而节省维修工时提升产能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机 替换 模块 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机的替换模块，其包含：一固定板，该固定板上具有两个穿孔，所述穿孔分别为一第一穿孔以及一第二穿孔；一第一摩擦轮，该第一摩擦轮于该第一穿孔内转动；一转动轮，该转动轮的中心轴穿过该第二穿孔，且该转动轮被该第一摩擦轮带动；一第二摩擦轮，该第二摩擦轮被该转动轮带动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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