[发明专利]基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器

摘要

基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器，衍射成像光学系统固定在轴向平移台上，微透镜阵列固定在垂直升降台上，置于衍射成像光学系统后离焦面上；光学匹配放大系统置于微透镜阵列后离焦面，分立光强测量器件组置于光学匹配放大系统后并分别固定在两轴向平移台上，上述光学装置放置在底座上；平行光源通过衍射成像光学系统得到无像差时的远场光斑图像，再通过微透镜阵列得到分立子光束，再经过光学匹配放大系统耦合到对应的分立光强测量器件组并被其采集数据，再利用A/D卡将相应的数据采集到PC计算机中进行数据处理；本发明波前传感器使用分立光强测量器件进行远场图像数据的采集，具有更高的光强灵敏度，并且这种器件易于获得，适用性广。

主权项

1.基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器，包括衍射成像光学系统(1)、微透镜阵列(2)、光学匹配放大系统(3)、分立光强测量器件组(4)、A/D卡(5)、PC计算机(6)、轴向平移台(7)、轴向平移台(8)、轴向平移台(9)、底座(10)和垂直升降台(11)；其特征在于：衍射成像光学系统(1)固定在轴向平移台(7)上，可进行轴向平移调整；微透镜阵列(2)固定在垂直升降台(11)上，可进行上下平移调整，并置于衍射成像光学系统(1)的后离焦面上；光学匹配放大系统(3)置于微透镜阵列(2)的后离焦面，并固定在轴向平移台(8)上，可进行轴向平移调整；分立光强测量器件组(4)，置于光学匹配放大系统(3)之后，并固定在轴向平移台(9)上，可进行轴向平移调整，将上述光学装置放置在底座(10)上；平行光源出射平行光，通过衍射成像光学系统(1)得到无像差时的远场光斑图像，再通过微透镜阵列(2)得到分立子光束，分立子光束通过光学匹配放大系统(3)耦合到对应的分立光强测量器件组(4)，分立光强测量器件组(4)采集到数据，再利用A/D卡(5)将相应的数据采集到PC计算机(6)中进行数据处理。