[发明专利]一种通过分离波面整体倾斜扩大动态范围的哈特曼传感器

摘要

一种通过分离波面整体倾斜扩大动态范围的哈特曼传感器，它可以测量具有大的倾斜的波面信息；其特征在于：与普通的哈特曼传感器相比，所述哈特曼传感器在缩束系统之后、微透镜之前加入了分光系统，该分光系统将部分信号光导出主光路；这部分光最终经过一个聚焦透镜聚焦到放到该透镜焦点处的光电探测器上，通过分析该焦斑的偏移情况可以得到入射波面的整体倾斜信息，将这部分信息与哈特曼传感器上得到波面信息相叠加就可以得到整个波面信息。本发明在普通哈特曼传感器的基础上加入一个匹配的分光路就实现了在不影响哈特曼测量精度的前提下测量大倾斜波面信息的功能；并且本发明结构简单，与普通哈特曼传感器相比成本增加很少。

主权项

1、一种通过分离波面整体倾斜扩大动态范围的哈特曼传感器，包含有由前透镜(1)和后透镜(2)组成的缩束系统，和微透镜阵列(4)，第一光电探测器(5)；其特征在于：在由前透镜(1)和后透镜(2)组成的缩束系统之后微透镜阵列(4)之前的位置处，添加一个用于测量入射波面的整体平均倾斜的由分光镜(3)、反射镜(6)、聚焦透镜(7)和第二光电探测器(8)组成的分系统；外界的被测光束被缩束系统缩束后，被分光镜(3)分为两部分，一部分光照射到哈特曼传感器的核心部件(9)，被第一光电探测器(5)以光斑点阵的形式采集；另一部分进入分系统被第二光电探测器(8)以远场光斑的形式采集到；在分系统中可以测量被测波面的整体倾斜，在主光路获得的信息的基础上叠加上波面的整体倾斜信息就可以得到被测波面的整体信息。