[发明专利]测量机台的评估方法有效
| 申请号： | 200810114065.3 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101592692A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 杨斯元;简维廷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种测量机台的评估方法，包括下列步骤，对于至少两台测量机台，计算各个测量机台所获得的至少两组半导体器件的测量值的精度；将所述各个测量机台的符合精度要求的至少两组测量值作为质量评估样本，计算所述样本中各组半导体器件测量值的偏倚；按所述各组半导体器件测量值的偏倚和离散程度对所述质量评估样本进行分类，并将所述各组半导体器件测量值的偏倚线性度、离散程度和稳定程度作为评估指标；将所述评估指标中至少有两个评估指标最佳的质量评估样本对应的测量机台作为金牌机台。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 机台 评估 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量机台的评估方法，其特征在于，包括下列步骤，对于至少两台测量机台，计算各个测量机台所获得的至少两组半导体器件的测量值的精度；将所述各个测量机台的符合精度要求的至少两组测量值作为质量评估样本，计算所述样本中各组半导体器件测量值的偏倚；按所述各组半导体器件测量值的偏倚和离散程度对所述质量评估样本进行分类，并将所述各组半导体器件测量值的偏倚线性度、离散程度和稳定程度作为评估指标；将所述评估指标中至少有两个评估指标最佳的质量评估样本对应的测量机台作为金牌机台。
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