[发明专利]高密度DNA测序芯片及其制作方法无效
申请号: | 200810114536.0 | 申请日: | 2008-06-06 |
公开(公告)号: | CN101597640A | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | 李运涛;俞育德;余金中;于军;胡迪;任鲁风 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C12Q1/68 | 分类号: | C12Q1/68;C12M1/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种高密度DNA测序芯片,其特征在于,包括:一氧化铝薄膜,该氧化铝薄膜上制备有蜂巢状的通孔;一DNA测序芯片的基片;其中该氧化铝薄膜上的蜂巢状的通孔是采用阳极氧化方法形成,将该氧化铝薄膜直接转移至DNA测序芯片的基片的表面,形成池壁为氧化铝薄膜,池底为DNA测序芯片的基片表面的微反应池阵列。本发明具有密度高、成本低、操作简单、适于大规模工业化制作的优点。 | ||
搜索关键词: | 高密度 dna 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种高密度DNA测序芯片,其特征在于,包括:一氧化铝薄膜,该氧化铝薄膜上制备有蜂巢状的通孔;一DNA测序芯片的基片;其中该氧化铝薄膜上的蜂巢状的通孔是采用阳极氧化方法形成,将该氧化铝薄膜直接转移至DNA测序芯片的基片的表面,形成池壁为氧化铝薄膜,池底为DNA测序芯片的基片表面的微反应池阵列。
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