[发明专利]WO3厚膜气敏传感器的表面改性方法

摘要

WO₃厚膜气敏传感器的表面改性方法，属于气敏传感器技术领域。在400～800℃的温度下保温2小时将钨酸分解；往WO₃粉末中添加粘合剂，制得敏感材料浆料；将浆料印刷在被有叉指银电极和银电极引线的氧化铝基板上，在空气中保温烧结制备成WO₃厚膜气敏传感器；将制得的WO₃厚膜气敏传感器先在H₂气氛中于保温，后在空气中保温，即制得改性后的WO₃厚膜气敏传感器。本发明成本低廉，步骤简单，制备过程中的工艺参数容易控制，整个制备过程的能源消耗非常少，表面改性后的WO₃厚膜气敏传感器可对待测环境中1～200ppm的CO实现高灵敏检测，且响应恢复时间短，具有重要的实际应用价值。

主权项

1、WO3厚膜气敏传感器的表面改性方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)在400～800℃的温度下保温2小时将钨酸分解制备WO3粉末；(2)往步骤(1)制得的WO3粉末中添加粘合剂，搅拌均匀后，即制得敏感材料浆料；所述粘合剂为乙基纤维素、松油醇及正硅酸乙酯；(3)采用丝网印刷的方法将上述(2)中的浆料印刷在被有叉指银电极和银电极引线的氧化铝基板上，在空气中经600～800℃保温1～2小时烧结后制备成WO3厚膜气敏传感器；(4)将步骤(3)中制得的WO3厚膜气敏传感器先在H2气氛中于600～800℃保温0.5小时进行还原处理，然后将其在500～700℃的空气中保温0.5小时进行氧化处理，即制得改性后的WO3厚膜气敏传感器。