[发明专利]半导体生产中掺杂剂的称量系统无效
| 申请号： | 200810116568.4 | 申请日： | 2008-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101625253A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 方峰;高恺;邓德辉;郑沉;张楠 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01G17/00 | 分类号： | G01G17/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。本系统的优点是：称量准确、快速，可避免不同掺杂剂在称量时产生的交叉污染。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 掺杂 称量 系统 | ||
【主权项】：
1、一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，其特征在于：它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP/IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。
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