[发明专利]制备SnO2-ZnO异质纳米枝杈结构的方法无效

专利信息
申请号: 200810116624.4 申请日: 2008-07-14
公开(公告)号: CN101323975A 公开(公告)日: 2008-12-17
发明(设计)人: 师文生;凌世婷 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B29/62;C30B25/00;B82B3/00;C01G9/02;C01G19/02
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 李柏
地址: 100190北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于纳米氧化物半导体材料异质结构制备技术领域,特别涉及制备特殊形貌的SnO2-ZnO异质纳米枝杈结构的方法。本发明是采用两步气相沉积制备异质纳米结构的方法。以Al2O3基片为衬底,通过气体传输,用两步热蒸发的方法在Al2O3基片上生长得到SnO2-ZnO异质纳米枝杈结构。这种异质纳米枝杈结构是以SnO2为轴,径向以ZnO为枝杈,其中相邻的两根径向ZnO纳米线所成角度在68°~73°。得到的异质纳米枝杈结构形貌稳定,质量好,在光电器件方面有应用前景。
搜索关键词: 制备 sno sub zno 纳米 枝杈 结构 方法
【主权项】:
1.一种制备SnO2-ZnO异质纳米枝杈结构的方法,其特征是,该方法包括以下步骤:1)将原料SnO2粉与原料石墨粉按物质的摩尔比为1∶5~5∶1混合并研磨,将原料ZnO粉与原料石墨粉按物质的摩尔比为1∶5~5∶1混合并研磨;上述以原料石墨的摩尔为基准;2)将步骤1)得到的原料SnO2粉和原料石墨粉的混合物放入瓷舟中,然后将瓷舟放在管式炉的中部;3)将Al2O3基片平铺在步骤2)的管式炉下游距中部5~20cm处,作为SnO2纳米结构生长的基底;4)将步骤3)的管式炉加热到800~1000℃,升温速度在10~30℃/min;5)将惰性气体和空气通入步骤4)的管式炉中作为载气,惰性气体的流量为10~100sccm,空气的流量为2~10sccm;管式炉内的压强为50~500Pa,反应结束后,自然冷却到室温,取出Al2O3基片;6)将步骤1)得到的原料ZnO粉和原料石墨粉的混合物放入瓷舟中,然后将瓷舟放在管式炉的中部;将步骤5)取出的Al2O3基片平铺在管式炉下游距中部5~20cm处,作为ZnO纳米结构生长的基底;7)将步骤6)的管式炉加热到900~1100℃,升温速度在10~30℃/min;8)将惰性气体和空气通入步骤7)的管式炉中作为载气,惰性气体的流量为10~100sccm,空气的流量为2~10sccm;管式炉内的压强为50~5000Pa,反应结束后,自然冷却到室温,取出Al2O3基片,Al2O3基片上面的产物是SnO2-ZnO异质纳米枝杈结构;其中所述的SnO2-ZnO的异质纳米枝杈结构的轴向为SnO2纳米线,径向为ZnO纳米线。
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