[发明专利]双频激光干涉测量装置有效
| 申请号： | 200810117028.8 | 申请日： | 2008-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101413783A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王霁 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 10009*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双频激光干涉测量装置。装置包括三个部分，包括光源分光光路部分、测量光路部分及相位差90°接收信号部分。光源分光光路将入射光源分成两束有频差的激光，进入测量光路部分；经测量反射镜和参考反射镜两次反射实现光学倍程后，被相位差90°接收信号部分的光电接收器接收。本发明采用了声光移频装置，使测量光和参考光从一开始就分开，避免频率混叠；此干涉仪还采用偏振分光、偏振接收技术，因而能够得到对比度好，细分精度高的干涉信号。 | ||
| 搜索关键词： | 双频 激光 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种双频激光干涉测量装置，其特征在于，装置包括三个部分，包括光源分光光路部分(1)、测量光路部分(2)及相位差90°接收信号部分(3)，光源分光光路(1)中依次安放分光棱镜(1-2)，直角反射镜(1-3)、声光调制器(1-4)和(1-5)、准直器(1-6)和(1-7)，入射光源被分成两束有频差的激光，进入测量光路部分(2)；测量光路部分(2)中分别依次放入偏振分光棱镜(2-1)、(2-2)、(2-8)和消偏振分光棱镜(2-10)、直角反射镜(2-9)、1/4波片(2-3)和(2-7)，经测量反射镜(2-5)和参考反射镜(2-4)及(2-6)两次反射实现光学倍程后，被光电接收器(2-11)接收；相位差90°接收信号部分(3)依次置入1/2波片(3-1)、分光棱镜(3-2)、1/4波片(3-3)、分光棱镜(3-3)、偏振片(3-5)及(3-6)和光电接收器(3-7)及(3-8)。
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