[发明专利]光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器有效
| 申请号： | 200810117070.X | 申请日： | 2008-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101635433A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;邢名欣;任刚;刘安金;陈微;周文君;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/20 | 分类号： | H01S5/20;H01S5/30;H01S5/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周围光子晶体的空气孔直径；慢光波导结构与输出波导结构中间为啁啾波导结构，该啁啾波导结构内侧相邻两行空气孔的直径从与慢光波导结构空气孔直径相同而逐渐变小，直到与输出波导结构的空气孔直径相同。本发明提供的边发射激光器，采用光子晶体波导的带边慢光模式，突破了缺陷腔模式体积受限制的瓶颈，利用啁啾波导结构，将慢光模式高效转换为正常群速度导波模式，使得边发射激光的输出效率得到大幅提高。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 晶体 啁啾 波导 慢光边 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1、一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，其特征在于，该边发射激光器由制作于半导体材料上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周围光子晶体的空气孔直径；慢光波导结构与输出波导结构中间为啁啾波导结构，该啁啾波导结构内侧相邻两行空气孔的直径从与慢光波导结构空气孔直径相同而逐渐变小，直到与输出波导结构的空气孔直径相同。
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