[发明专利]可见与红外光波光轴平行度检测仪无效
申请号: | 200810119125.0 | 申请日: | 2008-08-27 |
公开(公告)号: | CN101446485A | 公开(公告)日: | 2009-06-03 |
发明(设计)人: | 吴时彬;景洪伟;杨文志;曹学东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/27;G01M11/02 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 贾玉忠;卢 纪 |
地址: | 61020*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种可见与红外光波光轴平行度检测的检测仪,包含红外光部分和可见光部分;首先采用可见光进行对准操作,可见光源发出的可见光经过十字分划板照亮十字丝,在可见光CCD上形成出射的可见十字丝像,出射的可见光经红外分光镜、次镜、主镜、标准平面镜反射后,再经上述光学器件又反回到可见光CCD形成返回的十字丝像,调整系统使出射的可见十字丝像与返回的十字丝像重合,完成仪器对准;然后利用红外检测,红外激光器发出的红外激光经过一系列红外光部分的光学元件,用测量软件提取红外CCD上的出射红外光斑和返回的红外光斑,采用公式计算便可得到平行度误差值;本发明的检测仪采用可见光对准,红外探测平行度误差的方法;降低了实验风险,同时提高了测量精度。 | ||
搜索关键词: | 可见 红外 光波 光轴 平行 检测 | ||
【主权项】:
1、一种可见与红外光波光轴平行度检测仪,其特征在于:可见光部分的光学组件包括主镜(8)、红外分光镜(9)、次镜(10)、标准平面镜(11)、可见光组件(14);可见光组件(14)包含有可见光源(14-1),十字分划板(14-2),分光镜(14-3),可见光CCD(14-4);可见光源(14-1)发出的可见光经过十字分划板(14-2)照亮十字丝,在可见光CCD(14-4)上形成出射的可见十字丝像(15-1),出射的可见光经过红外分光镜(9)反射、再经次镜(10)反射、再经主镜(8)反射后变成平行的可见光波出射,出射的平行光经标准平面镜(11)反射后,依次经过主镜(8)反射、再经次镜(10)反射、再经红外分光镜(9)反射后回到可见光CCD(14-4),形成返回的十字丝像(15-2),调整五维调整机构(19)使出射的可见十字丝像(15-1)与返回的十字丝像(15-2)完全重合,完成仪器对准;红外光部分的光学组件包括红外激光器(1)、可变光阑(2)、衰减片(3)、聚焦透镜
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