[发明专利]液晶显示装置的阵列基板制造方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示装置的阵列基板制造方法，该方法采用一个单调掩模板和两个双调掩模板制造了水平电场型液晶显示装置的阵列基板，具体为：通过采用单调掩模板形成栅线、栅电极和由第一透明导电层和第一金属层构成的显示区域的图案；通过采用第一双调掩模板沟道，并且将位于显示区域的第一金属层去掉，形成板状电极；通过采用第二双调掩模板形成过孔和缝隙电极。本发明液晶显示装置的阵列基板制造方法用一个廉价的单调掩模板替代了一个昂贵的双调掩模板，从而有效地降低了制造成本。相比现有技术，本发明液晶显示装置的阵列基板制造方法减少了一次灰化工艺，从而有效地简化了生产过程，并且还提高了生产速度。

主权项

1、一种液晶显示装置的阵列基板制造方法，包括预置层的制作和后置层的制作，其特征在于，所述预置层的制作具体为：第一次掩模工艺，在基板上依次沉积第一透明导电层和第一金属层之后涂布光刻胶，采用单调掩模板进行曝光显影之后进行蚀刻，形成显示区域图案、栅线和从所述栅线分支出来的栅电极；第二次掩模工艺，在经过所述第一次掩模工艺的基板上依次沉积第一绝缘层、半导体层、掺杂半导体层和第二金属层并且涂布光刻胶，采用第一双调掩模板进行曝光显影之后进行蚀刻，形成硅岛图案和数据线图案并且在所述显示区域漏出所述第一金属层，对所述光刻胶进行灰化工艺之后再进行蚀刻，在所述硅岛图案上形成沟道、与所述数据线连接的源电极和漏电极并且在所述显示区域图案上形成板状电极。