[发明专利]一种低浓度气体的配制装置及配制方法无效
| 申请号： | 200810120731.4 | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101352660A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 赵伟荣;鲍家泽;郭森;董帆 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 盛辉地 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种低浓度气体的配制装置，由毛细管及三通或二通式气密性接头连通载气钢瓶、质量流量控制器、加热扩散瓶、加热器、混气罐组成；所述加热扩散瓶通过毛细针管的出口端与主体气路毛细管连接，并且根据配制气体组份种类和数目组装设置相应数目和参数的扩散气控制部分。本发明装置采用扩散稀释式动态配气法，具有成本低、操作简单、耗气量小、配气稳定、应用广泛的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浓度 气体 配制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种低浓度气体配制装置，由载气控制部分、扩散气控制部分和气体浓度混合稳定部分组成，上述各部分通过毛细管(6)及三通或二通式气密性接头连通；其特征在于：所述载气控制部分包括载气钢瓶(1)、质量流量控制器(2)；所述扩散气控制部分，包括加热扩散瓶(4)、加热器(5)，加热扩散瓶(4)内置于液面稳定的加热器(5)中，通过毛细针管(3)的出口端与主体气路毛细管(6)连接；所述气体浓度混合稳定部分为混气罐(7)；本装置载气控制部分的载气钢瓶(1)内排出的载气，通过质量流量控制器(2)精确控制流量，形成具有恒定流量的稀释载气，并经过主体气路毛细管(6)流向扩散气控制部分的毛细针管(3)的出口端；加热扩散瓶(4)中的气体源物质，经加热后挥发出来的气体扩散至气体源物质上部的瓶内空间，形成的饱和蒸汽压气体，经毛细针管(3)扩散至出口端；出口端的气体在流经出口端的具有指定流量的稀释载气的稀释吹扫作用下，继续经主体气路毛细管(6)一道进入混气罐(7)形成所需配制的低浓度目标气体。
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