[发明专利]直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置无效

专利信息
申请号: 200810122043.1 申请日: 2008-10-30
公开(公告)号: CN101407937A 公开(公告)日: 2009-04-15
发明(设计)人: 曹建伟;张俊;邱敏秀 申请(专利权)人: 上虞晶盛机电工程有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司
主分类号: C30B15/22 分类号: C30B15/22
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 代理人: 唐银益
地址: 312364*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种直拉式单晶生产技术,旨在提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。该装置包括滑轮、引出导线、外层包覆绝缘材料的缆索管、钢丝绳、金属材质的籽晶夹头、石英坩埚、石墨坩埚、导电材料的坩埚托杆和引出导线;钢丝绳、滑轮、炉体与检测报警电路构成一个回路。本发明可自动检测晶体与液面的熔接状态和判断熔接时刻;防止人为原因引起的籽晶过降导致的籽晶夹头熔化事故;可全程实时监测晶体与液面熔接状态,及时产生脱离液面报警;降低劳动强度,提高直拉式单晶炉的自动化程度,为全自动单晶炉设计解决了关键技术。
搜索关键词: 直拉式单晶炉中 晶体 液面 熔接 状态 自动检测 装置
【主权项】:
1、一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置,包括石英坩埚,其特征在于,还包括滑轮、钢丝绳和金属材质的籽晶夹头;钢丝绳的一个端头与籽晶夹头相连,另一端头通过滑轮后绕在外层包覆绝缘材料的缆索管上,缆索管与升降驱动机构连接;钢丝绳与滑轮之间是导通的,滑轮和石英坩埚均通过引出的导线连接至一个检测报警电路,该检测报警电路包括绝缘电阻与电容检测电路、阈值比较电路、光电隔离与驱动输出电路。
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