[发明专利]一种硅片清洗剂的制备方法无效
| 申请号： | 200810123226.5 | 申请日： | 2008-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101602984A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 唐玉冰 | 申请（专利权）人： | 唐玉冰 |
| 主分类号： | C11D1/83 | 分类号： | C11D1/83;C11D3/06 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人： | 江 平 |
| 地址： | 211409江苏省仪征市大仪*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片清洗剂的制备方法，涉及光利用技术领域，先将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于水中，再将氢氧化钾溶于水中，再分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中，再将两溶液均匀混合，最后将以上三种溶液均匀混合，即成硅片清洗剂。本发明方法简单、易于生产，可有效降低生产成本，且生成的清洗剂原液可长期保存、运输，产品不含任何有机溶剂，无任何刺激性气味，工作液的pH值在9～11，并且清洗效率高，使用周期长，对硅片无腐蚀性等特点。本发明与传统的硅片清洗剂相比单位成本下降近60％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 洗剂 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种硅片清洗剂的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于水中；2)将氢氧化钾溶于水中；3)分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中，再将两溶液均匀混合；4)将以上三种溶液均匀混合，即成硅片清洗剂。
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