[发明专利]一种黑瓷低温玻璃外壳气密性封帽的方法有效

专利信息
申请号: 200810123540.3 申请日: 2008-06-06
公开(公告)号: CN101303986A 公开(公告)日: 2008-11-12
发明(设计)人: 郭伟;陶建中 申请(专利权)人: 无锡中微高科电子有限公司
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 代理人: 殷红梅
地址: 214028江苏省无锡市新区无锡经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种黑瓷低温玻璃外壳气密性封帽的方法,属于电子元器件气密性封装技术领域。特征是:先把外壳和盖板放入烘箱内预烘;将预烘好的外壳和盖板放入充氮装架台内,把盖板的玻璃焊环一面朝下平盖在外壳的腔体上,其中盖板的中心与外壳腔体的中心一致,再用夹子夹在盖板和外壳的中心位置;把已经装架好的器件放入加热炉内封帽;松开夹子,把已经封帽好的器件从夹子上取下,完成整个封帽过程。本发明能节约生产成本,提高生产效率;同时可降低封帽温度对器件的不良影响;且能大大提高器件的机械强度(耐恒定加速度的能力可提高30%以上)。
搜索关键词: 一种 低温 玻璃 外壳 气密性 方法
【主权项】:
1、一种黑瓷低温玻璃外壳气密性封帽的方法,其特征是采用以下工艺步骤:(1)、预烘:先把外壳(3)和盖板(2)放入烘箱内预烘,预烘温度:180℃~250℃;预烘时间:2h~3h;(2)、装架:将预烘好的外壳(3)和盖板(2)放入充氮装架台内,把盖板(2)的玻璃焊环一面朝下平盖在外壳(3)的腔体上,其中盖板(2)的中心与外壳(3)腔体的中心一致,再用夹子(1)夹在盖板(2)和外壳(3)的中心位置;(3)、封帽:把已经装架好的器件放入加热炉内封帽;加热炉内峰值温度:415℃~435℃;峰值温度保持时间:5~18′;(4)、松开夹子(1),把已经封帽好的器件从夹子(1)上取下,完成整个封帽过程。
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