[发明专利]基板处理装置以及基板搬送装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置以及基板搬送装置，该基板搬送装置包括：在支撑有玻璃基板的状态下向处理腔室(10)内进行搬送的拾取器(52)；和驱动拾取器(52)的主驱动机构(60)，拾取器(52)包括：基部(56b)；从基部(56b)呈分叉状延伸的多个第一支撑部件(56a)；和能够进出退避地与第一支撑部件(56a)连接的第二支撑部件(57a)，由这些第一支撑部件(56a)和第二支撑部件(57a)构成能够伸缩的支撑部件，在支撑部件伸出的状态下搬送基板。因此，能够避免搬送室的大型化，并且不需要扩大处理腔室的基板搬送用的开口，而且不会对机构部带来过度负担。

主权项

1.一种基板处理装置，包括：对基板载置台上的基板实施规定处理的处理腔室；向所述基板载置台搬送基板的基板搬送装置；和收容所述基板搬送装置，并且与所述处理腔室连接的搬送室，所述基板处理装置的特征在于：所述基板搬送装置包括：在支撑有基板的状态下进入到所述处理腔室内向所述基板载置台搬送基板的拾取器；和驱动拾取器的主驱动机构，所述拾取器包括：基部；从所述基部呈分叉状延伸的、用于支撑基板的多个支撑部件；和使这些支撑部件伸缩动作的副驱动机构，在所述支撑部件伸出的状态下搬送基板。